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京东方科技集团某分公司除氟项目

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京东方科技集团某分公司除氟项目


  • 京东方科技集团某分公司除氟项目

  • 详细介绍

京东方科技集团某分公司除氟项目

项目概况:

在半导体制程清洗、湿法刻蚀等工序中,会使用氢氟酸、氟化铵以及高纯水清洗,在干法蚀刻使用其他多种含氟化合物,例如四氟化碳、四氟化硅等等。氢氟酸废水主要在这两个领域产生,其中废水中含氟浓度可以达到1000~3000 mg/L。

水质情况:

   原水氟含量  

     15 mg/L  

   处理水量

     15000m3/d

   排放标准

     < 1mg/L 

   使用药剂

     GMS-F4

   处理效果

     出水稳定在1mg/L以下   


处理难点:

污染物浓度较高,如氟、氨等,废水一般呈强酸性。

目标要求:

出水稳定在1mg/L。

环瑞工艺:

经过一个月的反复验证、调整,得出最佳处理方案,即混凝预处理+深度除氟剂二级处理工艺

处理优势:

(1)产品硬度较低,不易造成系统管道等组件堵塞;

(2)反应速度快,只需15-20 min;

(3)能真正将废水中氟化物降低至1 mg/L以下。

现场照片:

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关键词:除氟剂,半导体行业除氟

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